많은 실리콘 질화물 부품에는 반도체 진공 척, 프로브 카드 가이드 플레이트, 유체 분배 플레이트, 세라믹 필터 및 전력 전자 기판과 같은 0.5mm 정밀 구멍의 조밀한 배열이 필요합니다. 49 × 49 또는 50 × 50 홀 패턴을 포함한 일반적인 어레이 레이아웃은 높은 유량과 충분한 기계적 강도를 결합합니다.
질화규소에 수백 또는 수천 개의 정밀 구멍을 뚫는 것은 단순히 관통 구멍을 만드는 것보다 훨씬 어렵습니다.- 안정적인 생산을 위해서는 열, 정확성 및 공정 일관성에 대한 탁월한 제어가 필요합니다.
4대 과제질화규소 정밀 홀 드릴링
1. 조밀한 홀 어레이의 열 응력
연속적인 레이저 드릴링 중에 인접한 구멍 주위에 열이 축적됩니다. 질화 규소는 금속만큼 효율적으로 열을 발산하지 못하므로 조밀한 구멍 배열이 국부적인 열 응력에 더 취약해집니다.
최적화된 공정 제어가 없으면 과도한 열로 인해 미세 균열이 발생할 수 있으며, 특히 인접한 구멍 사이의 벽 두께가 매우 작아지는 경우 더욱 그렇습니다.
2. 홀 테이퍼 제어
기존의 단일{0}}패스 레이저 드릴링에서는 입구 직경이 출구 직경보다 큰 테이퍼형 구멍이 생성되는 경우가 많습니다.
진공 흡착, 유체 제어 또는 반도체 툴링과 관련된 응용 분야의 경우 과도한 테이퍼는 기능적 성능과 일관성을 저하시킬 수 있습니다.
따라서 거의 직선에 가까운 구멍 벽을 생성하는 것은 정밀 레이저 드릴링 중에 중요한 목표가 됩니다.
3. 재캐스트 레이어 및 잔해물 제거
레이저 드릴링은 세라믹 재료를 기화시켜 구멍 내부에 용융된 입자와 잔해물을 생성합니다.
이러한 잔류물을 효율적으로 제거하지 않으면 구멍 벽에 붙어 있는 상태로 남아 표면 품질에 영향을 미치고 후처리 요구 사항이 높아질 수 있습니다.-
적절한 가스 지원과 최적화된 드릴링 전략은 구멍 청결도를 높이는 동시에 2차 마무리 작업을 최소화하는 데 도움이 됩니다.
4. 대규모 어레이에서의 위치 정확도
단일 세라믹 판에 수백 또는 수천 개의 구멍을 처리하려면 탁월한 위치 반복성이 필요합니다.
긴 가공 주기 동안 작은 위치 편차라도 누적되어 큰 구멍 배열의 전체적인 일관성이 저하될 수 있습니다.
반도체 및 정밀 세라믹 응용 분야의 경우 전체 공작물에 걸쳐 안정적인 위치 정확도를 유지하는 것이 드릴링 속도보다 더 중요한 경우가 많습니다.
0.5mm 정밀 홀 가공을 위한 WHYC 레이저 솔루션
WHYC Laser는 질화규소 정밀 홀 응용 분야를 위해 특별히 세라믹 레이저 드릴링 솔루션을 개발했습니다.
당사의 가공 전략은 최적화된 레이저 매개변수와 정밀 모션 제어를 결합하여 드릴링 품질과 생산 안정성을 향상시킵니다.
다단계 레이저 드릴링-
단일 작업으로 모든 재료를 제거하는 대신 드릴링 프로세스는 여러 제어 단계를 통해 완료되어 열 응력을 줄이면서 구멍 형상을 개선합니다.
최적화된 가스 지원
고압-보조 가스 시스템은 드릴링 중에 잔해물을 지속적으로 제거하여 홀 벽을 더욱 깨끗하게 만들고 2차 청소의 필요성을 줄여줍니다.
고정밀-모션 플랫폼
견고한 기계 구조, 선형 모터 기술 및 폐쇄형{0}}루프 포지셔닝 시스템은 확장된 생산 주기 동안 큰 구멍 배열에 안정적인 정확도를 제공합니다.
일반적인 홀 어레이용 프로세스 패키지
WHYC 레이저는 일반적인 질화규소 홀 어레이 구성에 최적화된 프로세스 패키지를 제공하여 고객이 프로세스 개발 시간을 단축하고 생산을 가속화하도록 돕습니다.
오늘날 0.5mm 정밀 홀 가공은WHYC Laser의 성숙한 생산 솔루션, 장비 고객과 계약 제조 프로젝트를 모두 지원합니다.
일반적인 응용 분야
YCLaser의솔루션은 프로토타입 샘플과 대량 생산 부품 모두를 위한 질화규소 부품에 널리 적용됩니다.- 레이저 드릴링은 고급 세라믹 제조에 유연하고{1}}효율적인 가공을 제공합니다.
옳은 일을 선택하다실리콘 질화물 레이저 드릴링 시스템
레이저 드릴링 솔루션을 선택할 때 제조업체는 최소 구멍 크기 이상을 평가해야 합니다.
중요한 고려 사항은 다음과 같습니다.
>>생산 안정성
>>홀 일관성
>>열 손상 제어
>>홀 테이퍼
>>위치 정확도
>>공정 반복성
>>기술지원 및 적용경험
신뢰할 수 있는 레이저 드릴링 시스템은 실험실 성능에만 집중하기보다는 지속적으로 생산 품질의 결과를 제공해야 합니다.{0}}
결론
질화 규소 레이저 드릴링은 열 효과, 구멍 형상 및 위치 정확도를 신중하게 제어해야 하는 까다로운 공정입니다.
WHYC 레이저에 문의하세요 질화규소 레이저 드릴링 프로젝트에 대해 논의하거나 정밀 세라믹 홀 가공을 위한 샘플 평가를 요청하세요.(무료 샘플 테스트)
