AlN(알루미늄 질화물)은 3세대-반도체 및 고전력 전력 전자 장치의 기본 열 관리 기판 역할을 합니다. 그러나 1200~1500HV의 극도의 비커스 경도, 탁월한 취성 및 빠른 열 전도성으로 인해 AlN은 심각한 제조 문제를 안고 있습니다.
다이아몬드 휠 다이싱 및 기계적 드릴링과 같은-기존 접촉식 가공 방법은-대량 상업 생산 과정에서 네 가지 중요한 병목 현상에 직면합니다.-
1. 기계적 응력으로 인한 치핑 및 미세{1}}균열
기계 도구로 인한 물리적 압축과 충격으로 인해 필연적으로 기판 가장자리를 따라 마이크로칩이 발생합니다. 이러한 -표면 미세-균열은 고온-및 고전압 작동 조건에서 전파되어 궁극적으로 최종 전력 모듈의 열 파괴 또는 치명적인 단락으로 이어집니다.
2. 높은 툴링 비용과 장기간의 R&D 주기
복잡한 기하학적 윤곽, 좁은 슬롯 또는 미세한 마이크로{0}비아 배열을 가공하려면 고정밀 맞춤형 공구가-필요합니다. 이로 인해 프로토타입 제작 소요 시간이 몇 주까지 연장되고 막대한 초기 툴링 설정 비용이 발생하여 제품 반복 속도가 심각하게 느려집니다.
3. 차원 드리프트 및 낮은 수율
기계식 절삭 공구가 마모됨에 따라 가공 치수에 물리적 변동이 발생하여 배치 일관성이 손상됩니다. 초박형 AlN 시트(예: 0.25mm 또는 0.38mm)를-취급할 때 공구 진동으로 인해 층 박리 및 재료가 부서질 위험이 크게 증가합니다.
4. 대량-대량 생산의 병목 현상
기존의 다이싱 및 드릴링은 시간이 많이 소요되며{0}}단일 표준 0.5mm AlN 플레이트를 처리하는 데 몇 분이 걸리는 경우가 많습니다. 이러한 낮은 처리량은 전기 자동차(EV IGBT), 태양광 발전, 5G 통신 산업의 대규모, 신속한 전달 요구 사항을 충족할 수 없습니다.
해결책: 비접촉식-레이저 정밀 가공
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